震驚全場，5nm理論------------------------------------------"什么？！""基于DUV光刻機(jī)的5nm制程工藝？他瘋了吧！""現(xiàn)在全世界最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)也只能做到7nm，而且良率極低。他竟然說能用DUV做5nm？簡直是天方夜譚！"，評委們臉上都露出了難以置信的表情。，也抬起了頭，渾濁的眼睛里閃過一絲**。，今年已經(jīng)62歲了。他一生都在為國產(chǎn)芯片奮斗，親眼見證了無數(shù)次失敗。這次星聯(lián)合眾國的制裁，對他的打擊最大，他已經(jīng)好幾天沒合眼了。："林辰，你知道你在說什么嗎？5nm制程工藝，現(xiàn)在只有積電半導(dǎo)體和星洲電子能做到，而且他們用的都是EUV光刻機(jī)。你說能用DUV做5nm，你要是真能做到，我把這個答辯臺吃下去！""好啊。"林辰淡淡一笑，"如果我能證明我的理論是正確的，您不用吃答辯臺，只需要給我一個優(yōu)秀答辯成績就行。"，林辰走到電腦前，拔掉了原來的U盤，插上了自己隨身攜帶的U盤。，很快，一個全新的PPT出現(xiàn)在了大屏幕上。：《一種基于多重曝光技術(shù)的DUV光刻機(jī)5nm制程工藝方案》。，整個答辯現(xiàn)場鴉雀無聲。、光刻工藝、刻蝕精度、薄膜沉積等各個方面，詳細(xì)闡述了如何用DUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)5nm制程。"沉浸式四重曝光技術(shù)"、"自對準(zhǔn)多重圖形技術(shù)"、"高選擇性刻蝕工藝"，每一個都顛覆了現(xiàn)有的技術(shù)認(rèn)知。，數(shù)據(jù)詳實(shí)，公式推導(dǎo)嚴(yán)謹(jǐn)，沒有任何漏洞。
評委們從最初的不屑，到驚訝，再到震驚，最后一個個都站了起來，眼睛死死地盯著大屏幕，生怕錯過任何一個細(xì)節(jié)。
張敬華教授的身體微微顫抖著，他從事芯片研究四十多年，從來沒有見過如此完美的技術(shù)方案。
這個方案如果真的能實(shí)現(xiàn)，那將徹底改變?nèi)A夏芯片產(chǎn)業(yè)的命運(yùn)！
"……以上就是我的全部理論。"林辰關(guān)掉PPT，轉(zhuǎn)過身，看著目瞪口呆的評委們，"各位老師，有什么問題嗎？"
現(xiàn)場一片寂靜，沒有人說話。
過了足足五分鐘，張敬華教授才深吸一口氣，聲音沙啞地問道："林辰，你的這個方案，有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)支持嗎？"
"有。"林辰點(diǎn)了點(diǎn)頭，"我已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室里做了模擬實(shí)驗(yàn)，良率可以達(dá)到90%以上。"
"什么？！"
又是一陣驚呼。
現(xiàn)在積電半導(dǎo)體用EUV光刻機(jī)做5nm，良率也才80%左右。林辰竟然說用DUV能做到90%的良率？
這已經(jīng)不是顛覆了，這是神跡！
張敬華教授猛地站起來，走到林辰面前，緊緊地抓住他的手，激動地說道："林辰，跟我來實(shí)驗(yàn)室！現(xiàn)在就去！我要親眼看到你的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)！"
(第二章完)